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圧力調整器
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半導体用特殊材料ガス、高純度/超高純度キャリアガス用圧力調整器
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半導体製造用特殊材料ガス供給用
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1段減圧式 1次圧力:20MPa以下、調整圧力:0.1~1.0MPa
>EX-20-PM
エクセレント・PMシリーズEX-20-PM、EX-100-PM(パネル・マウント専用モデル)
1次圧力:20.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:50ℓ、150ℓ/min・Air)
Heリーク値:1X10 -9 Pa・m3/sec.以下
EX-20-PM