株式会社 千代田精機
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CHIYODA SEIKI CO., LTD.
圧力調整器一般工業ガス用圧力調整器分析用標準ガス・理科学機器用圧力調整器半導体用特殊材料ガス、高純度/超高純度キャリアガス用圧力調整器半導体製造用特殊材料ガス供給用高純度/超高純度バルクガス供給用超高圧・高純度ガス供給用
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1段減圧式 1次圧力:20MPa以下、調整圧力:0.1~1.0MP1段減圧式 1次圧力:3.0MPa以下、調整圧力:0.1~1.0MP2段減圧式 1次圧力:20.0MPa以下、調整圧力:0.1~1.0MP
1段減圧式 1次圧力:20MPa以下、調整圧力0.1~1.0MPa1段減圧・自力式/パイロット式 1次圧力:3.0MPa以下、調整圧力0.1~1.0MPa
1段減圧・自力式/1次圧力:24.0MPa以下、調整圧力2.0~15.0MPa
半導体用特殊材料ガス、高純度/超高純度キャリアガス用圧力調整器
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エクセレント・メガ・シリーズEX-M-20、EX-M-100(電解研磨品)
1次圧力:20.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:50ℓ、150ℓ/min・Air)
Heリーク値:5X10 -11 Pa・m3/sec.以下
・EX-M-20
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・EX-M-100
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エクセレント・マークⅡシリーズEX-20mkⅡ-G1、G2/EX-100mkⅡ-G1、G2
1次圧力:20.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:50ℓ、150ℓ/min・Air)
Heリーク値:1X10 -9/-8 Pa・m3/sec.以下
・EX-20mkⅡ
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・EX-100mkⅡ
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エクセレント・TDシリーズEX-20-TD、EX-100-TD(腐食性ガス用・内面特殊コーティング)
1次圧力:20.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:50ℓ、150ℓ/min・Air)
Heリーク値:1X10 -9 Pa・m3/sec.以下
・EX-20-TD
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・EX-100-TD
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エクセレント・PMシリーズEX-20-PM、EX-100-PM(パネル・マウント専用モデル)
1次圧力:20.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:50ℓ、150ℓ/min・Air)
Heリーク値:1X10 -9 Pa・m3/sec.以下
・EX-20-PM
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・EX-100-PM
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エクセレント・メガ・VCシリーズEX-M-20-VC(電解研磨品・本体接続部VCR1/4加工)
1次圧力:20.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:50ℓ/min・Air)
Heリーク値:5X10 -11 Pa・m3/sec.以下
・EX-M-20-VC
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エクセレント・マークⅡ・VCシリーズEX-20-VC(本体接続部VCR1/4加工)
1次圧力:20.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:50ℓ/min・Air)
Heリーク値:1X10 -9 Pa・m3/sec.以下
・EX-20-VC
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