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半導体用特殊材料ガス、高純度/超高純度キャリアガス供給設備・機器
供給設備・機器類
マニュアル式
RTB-101(10L×1本立て)
RTB-102(10L×2本立て)
RTB-103(10L×3本立て)
RTB-104(10L×4本立て)
RTB-104(10L×5本立て)
RTB-401(47L×1本立て)
RTB-402(47L×2本立て)
RTB-403(47L×3本立て)
RTB-404(47L×4本立て)
RTB-405(47L×5本立て)
マニュアル式 パ-ジ用N2ボンベ内蔵型
RTB-10201(10L×1本立て)
RTB-10302(10L×2本立て)
RTB-10403(10L×3本立て)
RTB-10504(10L×4本立て)
RTB-10605(10L×5本立て)
RTB-40201(47L×1本立て)
RTB-40302(47L×2本立て)
RTB-40403(47L×3本立て)
RTB-40504(47L×4本立て)
RTB-40605(47L×5本立て)
製作例
オ-トシリンダ-・キャビネット
バルブ・ボックス
減圧フィルタ-・ユニット
シリンダ-・キャビネット用真空発生器
バキュ-ム・ジェネレ-タ-