この部分は iframe 対応のブラウザで見てください。
ホーム
>
圧力調整器
>
半導体用特殊材料ガス、高純度/超高純度キャリアガス用圧力調整器
>
高純度/超高純度バルクガス供給用
>
1段減圧式 1次圧力:20MPa以下、調整圧力0.1~1.0MPa
>EX-4000mkⅡ-H
エクセレント・マークⅡシリーズEX-4000mkⅡ-H-G2
1次圧力:20.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:5000ℓ/min・Air
Heリーク値:1X10 -6Pa・m3/sec.以下
EX-4000mkⅡ-H