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圧力調整器
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半導体用特殊材料ガス、高純度/超高純度キャリアガス用圧力調整器
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高純度/超高純度バルクガス供給用
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1段減圧式 1次圧力:20MPa以下、調整圧力0.1~1.0MPa
>EX-700mkⅡ-H
エクセレント・マークⅡシリーズEX-700mkⅡ-H-G1、G2/EX-M-1000mkⅡ-H-G1、G2
1次圧力:20.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:450ℓ、2000ℓ/min・Air
Heリーク値:1X10 -8/-7/-6Pa・m3/sec.以下
EX-700mkⅡ-H