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圧力調整器
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半導体用特殊材料ガス、高純度/超高純度キャリアガス用圧力調整器
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高純度/超高純度バルクガス供給用
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1段減圧式 1次圧力:20MPa以下、調整圧力0.1~1.0MPa
>EX-M-1000-H
エクセレント・メガ・シリーズEX-M-700-H、EX-M-1000-H(電解研磨品)
1次圧力:20.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:450ℓ、2000ℓ/min・Air
Heリーク値:5X10 -11Pa・m3/sec.以下
EX-M-1000-H