株式会社千代田精機

エクセレント・メガ・シリーズEX-M-20、EX-M-100（電解研磨品）

1次圧力：20.0MPa以下/調整圧力0.1～1.0MPa、最大流量:50ℓ、150ℓ/min・Air）

Heリーク値：5X10 -11 Pa・m3/sec.以下

ＥＸ－Ｍ－２０

【特長】
●外部リーク5×10－11Pa・m3/sec.以下の超気密構造。
●パーティクルを極限まで抑えた、超清浄仕上げ。
●超清浄処理を行った圧力計（クリーンM）を使用。（接ガス部は、全てEP（電解研磨・VCR継手込み）処理を施しています。）