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半導体用特殊材料ガス、高純度/超高純度キャリアガス用圧力調整器
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高純度/超高純度バルクガス供給用
半導体用特殊材料ガス、高純度/超高純度キャリアガス用圧力調整器
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エクセレント・メガ・シリーズEX-M-700、EX-M-1000、EX-M-4000(電解研磨品・自力式)
1次圧力:3.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:450ℓ、2000ℓ、5000ℓ/min・Air
Heリーク値:5X10 -11Pa・m3/sec.以下
・EX-M-700
・EX-M-1000
・EX-M-4000
エクセレント・マークⅡシリーズEX-700mkⅡ-G1、G2/EX-1000mkⅡ-G1、G2/EX-4000mkⅡ-G1、G2(自力式)
1次圧力:3.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:450ℓ、2000ℓ、5000ℓ/min・Air
Heリーク値:1X10 -8/-7/-6Pa・m3/sec.以下
・EX-700mkⅡ
・EX-1000mkⅡ
・EX-4000mkⅡ
エクセレント・マークⅡシリーズEX-1000mkⅡ-P-G1、G2/EX-4000mkⅡ-P-G1、G2(パイロット式)
1次圧力:3.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:2000ℓ、5000ℓ/min・Air
Heリーク値:1X10 -7/-6Pa・m3/sec.以下
・EX-1000mkⅡ-P
・EX-4000mkⅡ-P